(Macnaught)馬克諾加氟化液流量計適用於氟化液半導體裝備液體
（Macnaught）馬克諾流量計 ─ 專為半導體製程打造的高潔淨、高耐蝕液體流量計
Macnaught 馬克諾流量計，專門設計應用於半導體製程中的高精密液體監控需求。具備極高潔淨度、優異耐腐蝕性與長效耐用性，是純水、超純水與各類高腐蝕性藥液流量測量的理想選擇。
其核心技術來自澳洲 Macnaught 的工程精密設計，特別針對晶圓清洗、蝕刻、CMP（化學機械拋光）等關鍵製程，提供穩定可靠的流量監測能力，能有效提升製程良率與穩定性。
產品特色：
專為半導體製程開發，符合超高潔淨度等級需求。
適用於純水、超純水及多種腐蝕性藥液，
高精度、高穩定性流量測量，流量可電訊號輸出、有線上檢測、監測功能。
材質耐化學性佳，使用壽命長，安裝維護簡便，降低產線停機風險
Macnaught 馬克諾流量計已廣泛應用於晶圓廠、水處理系統、化學品供應模組等高階製程環節，是您在精密工業中提升製程控管與可靠性的絕佳利器。
澳洲馬克諾容積式流量計MX系列和M系列 Back to TOP
作為擁有超過50年經驗的全球橢圓齒輪流量計技術領導者，澳洲馬克諾提供兩大完整產品系列，能夠應對各種具挑戰性的流量條件，包括我們最初的產業標準 M 系列產品，以及我們近期創新的 MX 系列產品。 馬克諾流量計的設計宗旨是提供最高水準的精確度與可靠性，同時具備同級最佳的成本效益。
高精度鋼體結構，提升材料完整性與製程可靠性。
可程式化的數位顯示與脈波輸出選項。
獨特的卡口式組件，增加多功能性與靈活性。
流量可電訊號輸出
有線上檢測
監測功能
穩定可靠的設計——搭配高品質鑄件本體，性能穩定、耐用。
提供機械式與脈波輸出選項。
橢圓齒輪技術可提供 ±0.5% 的高精度。
適用於高黏度流體。
擁有成本低廉。
供貨周期為業界領先。
精準度不受黏度變化影響。
維護需求極低。
安裝容易，無需流量調節。
緊湊的總體安裝長度，無需額外支撐，與其他流量計相比擁有更優秀的設計彈性。
特殊的減速比設計。
流量範圍涵蓋 0.5L/h 至 1200L/h，尺寸從 1/4" 至 4"。
可提供適用於高黏度、高溫與高壓環境的安全型本體版本。
  
MX全系列產品，如需其他尺寸或需求請直接聯繫我們Back to TOP
檢驗標章Back to TOP
馬克諾流量計全系列皆通過以下協會認證
澳大利亞標準協會
Standards Australia
Quality Endorsement
applicable to Macnaught
Head Office Sydney Only
全國計量會議
National Conference on Weights and Measurement
Certificate Number: 07-061
Interim Certificate of Approval No 5/6B/211
National Type Evaluation Program
Certificate of Conformation for Weighing and
Measuring Devices
Meter Indicating Volume (Stationary Application)
Pulse Output Meters Only
Meter Types: M10, M40, M50, M80
澳大利亞政府國家計量研究所
Australian Government National
Measurement Institute
Interim Certificate of Approval No 5/6B/211
Meter Indicating Volume (Stationary Application)
Pulse Output Meters Only
Meter Types: WM10, WM40, WM50, WM80
and WM100
國家測試機構協會
National Association of Testing Authorities
Macnaught Ply Ltd
Accreditation No: 15485
A test facility that complies with
the requirements of
ISO/EC 17025 (2005)
• Flow Measuring devices •
Liquid Meters
Calibration of flow rate and volume on oil
0.25 l/m to 750 l/m
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